关于发布《局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术第1部分：基于SOI硅片的工艺规范》、《局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术第2部分：残余应力测定与调控规程》团体标准的公告

各有关单位：

根据《上海市电力行业协会团体标准管理办法》的有关规定，上海市电力行业协会现批准发布《局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术第1部分：基于SOI硅片的工艺规范》（T/SEPA 4-2022）、《局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术第2部分：残余应力测定与调控规程》（T/SEPA 5-2022）团体标准,自2023年2月1日起实施。

特此公告。